英国BOC Edwards 是专业提供高精密研究用真空系统的老牌厂家。产品运转安静，包含多种应用：
| 专为研究和开发使用 |
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BOC Edwards 的薄膜镀膜系统是专为在科技和工业领域的研究，开发和生产前应用而设计。模块系统设计提供了一个简单的升级途径，可让研究人员在他们开发的同时，与新的工序技术同步。 |
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| 真空泵的选择 |
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我们提供一套清洁快速的真空抽气系统。 所有真空泵型号、均用两级直轴旋转泵作前置系统，前置级抽速达每小时 12 立方米 (12 m3 h-1 ) ； 同时具备一个排气口油雾过滤器 , 前置级预抽管内装有活性氧化铝油雾捕集器，能防止油雾逆流。系统选用之氟橡胶密封圈、低释气材料和特殊的焊接方法，构成系统不受污染的主要因素。 |
| 具液氮阱的扩散泵 |
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最经济有效的系统，是装有液氮阱连扩散泵的 AUTO306 系统，抽速达每秒 600 升 ( ls-1 ) 。在扩散泵上方的冷水套及智能高真空控制阀门，能防止扩散泵的油汽进入到真空容器内。 |
| 具液氮阱的涡轮分子泵 |
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抽速达每秒 500 升 ( ls-1 ) 的涡轮分子泵型号，结合涡轮分子泵 , 及液氮冷阱移除可凝性水汽之优点，产生一改良效率的真空抽气系统。 |
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冷凝泵（无液氮阱） |
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使用冷凝泵的系统、为所有 AUTO306 系统中，能提供很高的抽速和最佳的极限真空度的一套系统。这种组件配合，提供了无污染，极其洁净的真空，及最佳的镀膜环境。 |
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自动真空系统 |
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AUTO306 含微处理器的真空操控系统，能提供简洁无误的操作。甚至可使缺乏经验的操作员有信心地操作。抽气时间自动保持至最低，节省工序所需时间。完全可重现的操作参数，确保均衡的镀膜工作环境。数字显示屏提供了真空和系统状态信息。 |
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智能型高真空控制 |
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AUTO306 设计可维持洁净的高真空状况和时刻保障基片免受污染。 |
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一旦容器已被粗抽，含微处理器的控制系统，就会缓慢地打开高真空阀门。若前置压力超出最小极限，阀门就会再关闭。一旦前置级真空恢复，高真空阀门就会再次打开。这样的循环一直持续直到阀门完全打开为止。 |
| 这个过程对 AUTO306 扩散泵系统特别有效。这种智能阀门的开启程序，有效地防止了扩散泵抽气时的气流失速，因而消除了真空系统受污染的一个最主要的原因。 |
| 为了更加保护真空环境和基片免受油渍污染，内置的一个 12 伏 (V) 电池，在遇上失去电力供应时，会把高真空阀门关闭。 |
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| 美观度 | 耐用度 |
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